高潔淨度要求：半導體設備中食品級與防水O型環

高潔淨度要求：半導體設備中食品級與防水 O型環的應用標準

半導體製程對環境潔淨度有著近乎苛求的標準，微小的微粒污染都可能導致晶圓報廢。

本文將深入探討高階密封元件在晶圓廠中的應用，解析食品級o型環標準與半導體潔淨需求的關聯與異同，並介紹適合極端化學環境的鐵氟龍o型環與防水o型環解決方案，助您掌握高科技設備的密封關鍵。

 

潔淨度的極致挑戰：當「工業級」不再足夠

在一般的產業機械中，密封件的主要任務是防止漏油或漏氣。但在半導體、光電以及生技製藥領域，密封元件的角色更為關鍵：它們必須確保「零污染」。這意味著 O型環不僅要密封流體，其自身也不能析出任何雜質、氣體（Outgassing）或金屬離子。

許多工程師在尋找高潔淨密封件時，常會參考「食品級」標準（如 FDA 認證）。雖然食品級o型環的主要訴求是無毒、對人體無害，但其對材質純淨度的高要求，往往與半導體設備的需求重疊。然而，半導體製程還面臨著強酸、強鹼、電漿（Plasma）轟擊等極端挑戰，這使得選材必須超越一般的食品級標準，向更高階的氟化材質邁進。

 

半導體與食品級標準的交集與差異

在討論規格前，我們必須釐清觀念。食品級o型環通常使用高品質的矽膠o型環（Silicone）或 EPDM，強調無味、無毒、耐熱水。這在半導體設備的「後段封裝」或「純水系統」中相當適用。

然而，在晶圓製造的「前段製程」（如蝕刻、薄膜沉積）中，環境極為嚴苛。普通的橡膠在接觸到光阻液或蝕刻氣體時，

可能會發生溶脹或釋出碳微粒。這時，就需要導入更高規格的材質。

例如，NOK 與 NAK 等大廠針對半導體開發的特殊配方，雖然基礎可能源自於高純度橡膠，但經過了更嚴格的無塵室清洗與包裝程序，以符合 Class 100 甚至更高的潔淨室標準。

 

化學防護的王者：鐵氟龍與全氟化橡膠

面對強腐蝕性的化學藥液，鐵氟龍o型環（PTFE）與全氟化橡膠（FFKM）是唯二的解決方案。

• 鐵氟龍 (PTFE)： PTFE墊片與 O型環具有極低的摩擦係數與近乎完美的耐化學性。它不會與酸鹼發生反應，也不會釋出污染物。在半導體設備的管路連接、法蘭墊片應用中，鐵氟龍是首選。但其缺點是彈性較差，這時通常會採用「包覆式 O型環」（內層橡膠提供彈性，外層 PTFE 提供防護）。

• 全氟化橡膠 (FFKM)： 這是目前橡膠材料的金字塔頂端。它結合了 PTFE 的耐化學性與橡膠的彈性，能承受 300°C 以上的高溫且不發生熱裂解。雖然價格昂貴，但對於更換成本極高的真空腔體密封而言，它是無可替代的。

 

濕製程與冷卻系統：防水與 EPDM 的應用

半導體設備運作時產生高熱，需要龐大的冷卻系統（Chiller）。在這些冷卻管路中，防水o型環的選用至關重要。

這裡最常犯的錯誤是使用了 NBR（耐油橡膠）去密封熱水或乙二醇冷卻液。NBR 在熱水中容易水解失效。最佳的選擇是 epdm o型環（三元乙丙橡膠）。EPDM 對熱水、蒸氣以及極性溶劑（如酒精、酮類）具有優異的抵抗力，且耐候性極佳。在查閱 oring材質介紹 時，務必確認該 epdm墊片 是否通過了過氧化物硫化處理（Peroxide Cured），這種製程的 EPDM 潔淨度更高，更適合高科技廠房使用。

 

自動化傳輸：氣壓缸與傳動元件的微粒控制

晶圓的搬運依賴精密的機械手臂與氣壓設備。在這些動態運作的環節，摩擦是微粒（Particle）產生的主因。

為了降低污染，氣壓缸內部的迫緊（Packing）與導向帶必須經過特殊設計。傳統的油土封需要潤滑油，但在無塵室中，過多的潤滑油霧是污染源。因此，NTK 的精密陶瓷技術或是採用自潤滑 鐵氟龍迫緊 的無油式氣壓缸成為主流。這類密封元件摩擦係數極低，不易產生磨損粉塵，確保了晶圓傳輸過程的潔淨度。

同時，連接馬達與螺桿的聯軸器等傳動元件，也多採用低發塵的材質與結構，避免金屬粉塵掉落在晶圓上。

 

規格選用與供應鏈管理

在半導體產業，時間就是金錢。當機台發生洩漏時，能夠快速找到正確的規格是維修的關鍵。工程師應熟悉 oring規格表（如 JIS P系列、G系列或 AS568），並備妥常用的 NOK o型環規格 備品。

採購時，切勿貪圖方便隨意在一般的 o型環五金行 購買不明來源的散裝品。應尋找專業的 oring廠商，要求提供材質證明書（COA）以及潔淨度報告。對於特殊的尺寸，如大尺寸的腔體密封圈，甚至需要訂製拼接或一體成型的 大尺寸o型環。

總結來說，半導體設備的密封技術是一門平衡「潔淨度」、「耐化學性」與「成本」的藝術。從基礎的防水 EPDM 到頂級的 FFKM，正確的選材不僅能延長機械零組件的壽命，更是提升良率的隱形功臣。

 

常見問題 QA

Q1：標榜「食品級」的 O型環就一定能用在半導體設備嗎？

A： 不一定。食品級o型環（如符合 FDA 21 CFR 177.2600）保證的是材質無毒、不釋出有害物質到食品中。但半導體製程（特別是前段）更在意的是「金屬離子析出」與「微粒產生」。有些食品級橡膠可能含有填料（Filler），在電漿環境下會變成污染源。因此，用於製程腔體內的密封件，建議選用專為半導體設計的潔淨級產品。

Q2：為什麼在化學管路中，鐵氟龍（PTFE）墊片有時會發生洩漏？

A： 這通常是因為「冷流」（Cold Flow）現象或壓縮量不足。鐵氟龍墊片較硬且缺乏彈性，在長期受壓後會產生塑性變形（變扁且不回彈），導致螺絲預緊力下降而洩漏。解決方法是使用波浪型墊片、包覆式墊片，或是定期進行鎖緊維護。

Q3：如何辨別 O型環是否適合用於純水（DI Water）系統？

A： 純水具有極強的溶解力，會將橡膠中的添加劑溶出，導致水質電阻率下降。用於純水系統的 O型環，首選 epdm o型環 或 矽膠o型環，且必須是「不含碳黑」或經過特殊潔淨處理的配方。避免使用 NBR 或一般工業用橡膠，以免造成水質污染。

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