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ULVAC-蒸鍍機-VPC-1100,
a.腔體:390mm(直徑) X 350mm(高)
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關鍵字:ULVAC,蒸鍍機,VPC-11,擴散幫浦,油幫,電流原控制,兩組鎢舟,半導體實驗用

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